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T/SICA 006-2024 现行
T/SICA 006-2024 集成电路晶圆厂用天车传送系统通用技术要求
简介
主要技术内容:本标准主要技术内容包括集成电路晶圆厂用天车传送系统的术语和定义、缩略语、技术要求、环境要求、安全要求、标志、包装、运输和贮存、交付要求
通用商品信息
| 委员会 | 上海市集成电路行业协会 |
|---|---|
| 文献类型 | 团体标准 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/SICA 006-2024 |
| ICS | 连续搬运设备综合 |
| 实施日期 | 2024-07-07 |
价格
$ 20.00
小计
$ 20.00
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 20.00