PDF
GB/T 30656-2023 现行
GB/T 30656-2023 Polished monocrystalline silicon carbide wafers
简介
本文件规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于生产电力电子器件、射频微波器件及LED发光器件的外延材料用碳化硅单晶抛光片。
通用商品信息
| 委员会 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | GB/T 30656-2023 |
| CCS | 化合物半导体材料 |
| ICS | 半导体材料 |
| 实施日期 | 2023-10-01 |
价格
$ 74
小计
$ 74
税费
$ 0.00
订单总额(含税)
$ 74