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GB/T 30866-2014
GB/T 30866-2014 Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers
简介
本标准规定了用千分尺测量碳化硅单晶片直径的方法。
本标准适用于碳化硅单晶片直径的测量。
通用商品信息
| 委员会 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 被代替 |
| 标准编号 | GB/T 30866-2014 |
| CCS | 化合物半导体材料 |
| ICS | 半导体材料 |
| 实施日期 | 2015-02-01 |
价格
$ 36
小计
$ 36
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 36