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GB/T 18867-2025 现行
GB/T 18867-2025 电子气体 六氟化硫
简介
本文件规定了电子用六氟化硫的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存，描述了相应的试验方法，提供了六氟化硫的安全信息。
本文件适用于以工业六氟化硫为原料提纯制得的电子用六氟化硫。
通用商品信息
| 委员会 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | GB/T 18867-2025 |
| CCS | 工业气体与化学气体 |
| ICS | 工业气体 |
| 实施日期 | 2025-11-01 |
价格
$ 36.00
小计
$ 36.00
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 36.00