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GB/T 18867-2014 现行
GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫
简介
本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。分子式：SF6。相对分子质量：146.0564192（按2007年国际相对原子质量计算）。
通用商品信息
| 委员会 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | GB/T 18867-2014 |
| CCS | 工业气体与化学气体 |
| ICS | 工业气体 |
| 实施日期 | 2015-07-01 |
价格
$ 29.00
小计
$ 29.00
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 29.00