GB 4962-1985
被代替
GB/T 16944-2009
被代替
国家标准
GB/T 16944-2009 电子工业用气体 氮
GB/T 16944-2009 Gas for electronic industry—Nitrogen
基本信息
标准编号:
GB/T 16944-2009
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2009-10-30
实施日期:
2010-05-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会
页数:
12 页
适用范围
本标准规定了电子工业用气体氮的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮，以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压，化学气相淀积等。
研制信息
起草单位:
中国计量科学研究院、西南化工研究设计院
起草人:
周泽义、周鹏云
替代以下标准
被以下标准替代
引用标准
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