GB 4962-1985
被代替
T/EJCCCSE 532-2025
现行
团体标准
T/EJCCCSE 532-2025 电子级硅烷气
T/EJCCCSE 532-2025 Electron-grade silane gas
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/EJCCCSE 532-2025
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2025-08-21
实施日期:
2025-09-20
归口单位:
中国商业股份制企业经济联合会
适用范围
本文件规定了电子级硅烷气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输与贮存。 本文件适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延沉积、二氧化硅低温化学气相沉积、非晶硅薄膜沉积等工艺所用的电子级硅烷气
研制信息
起草单位:
浙江亚格新安电子新材料有限公司、大连华邦化学有限公司、安徽湛为气体有限公司、金宏气体股份有限公司、湖北和远气体股份有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、海利天成标准技术服务（北京）有限公司、华盛通标（北京）技术服务有限公司
起草人:
郑春宁、李文强、何茂、徐聪、江罗、田润朝、钱吉、郭锐、周海辉、潘晓敏