GB/T 4863-1985
被代替
T/QGCML 1126-2023
现行
团体标准
T/QGCML 1126-2023 连续双样品室等离子体清洗装置
T/QGCML 1126-2023 Consecutive double sample chamber plasma cleaning device
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/QGCML 1126-2023
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
机器、装置、设备的特性和设计
发布日期:
2023-08-03
实施日期:
2023-08-18
归口单位:
全国城市工业品贸易中心联合会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了连续双样品室等离子体清洗装置的术语和定义、构成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于连续双样品室等离子体清洗装置的设计、制造和检验
研制信息
起草单位:
武汉普迪真空科技有限公司、武汉普昊科技有限公司、湖北智瑞科技有限公司
起草人:
马艳、周焱文、杨林生、何光、聂天伟、周乐、马淑锋、马强威、张澳、周繁荣