GB 4962-1985
被代替
T/ICMTIA ESG0031-2022
现行
团体标准
T/ICMTIA ESG0031-2022 集成电路用电子特种气体产品通用规范
T/ICMTIA ESG0031-2022 General Specification for Electronic Special Gases Products Used in Integrated Circuits
价格:
$ 31.00
基本信息
标准编号:
T/ICMTIA ESG0031-2022
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
1970-01-01
实施日期:
1970-01-01
发布单位/组织:
中关村集成电路材料产业技术创新联盟