GB/T 3143-1982
现行
GB/T 46057-2025
现行
国家标准
GB/T 46057-2025 微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法
GB/T 46057-2025 Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM
价格:
$ 86.00
基本信息
标准编号:
GB/T 46057-2025
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
基础标准与通用方法
国际标准分类名称:
化学分析
发布日期:
2025-08-29
实施日期:
2026-03-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
页数:
52 页
适用范围
本文件规定了基于模型数据库(MBL)方法通过测长扫描电子显微镜(CD-SEM)成像来测定晶圆和光掩膜的关键尺寸(CD)值所需的结构模型、相关参数、文件格式和拟合程序。
本文件适用于试样的线宽测定，如晶圆上的栅极、光掩膜、单个孤立或密集排列的线特征图案，最小达10 nm。
研制信息
起草单位:
中国科学技术大学、新疆师范大学、中国科学院合肥物质科学研究院、安徽大学
起草人:
丁泽军、陆大宝、邹艳波、毛世峰、李永钢、李会民
采用标准
ISO 21466:2019