GB/T 5699-1985
被代替
T/CSTM 00313-2021
现行
团体标准
T/CSTM 00313-2021 基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法
T/CSTM 00313-2021 Spectroscopic reflectance-based method for testing optical thin-film constants
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CSTM 00313-2021
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
仪器、仪表
国际标准分类名称:
光学和光学测量综合
发布日期:
2021-10-18
实施日期:
2022-01-18
归口单位:
中关村材料试验技术联盟
适用范围
范围:本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性，并以此反演出膜层光学常数的测试方法。 本文件适用于50nm～5000nm的介质光学薄膜和基片，薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合物，基片为各种可见光透明光学玻璃、可见光透明各向同性晶体; 主要技术内容:本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性，并以此反演出膜层光学常数的测试方法。本文件适用于50nm～5000nm的介质光学薄膜和基片，薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合物，基片为各种可见光透明光学玻璃、可见光透明各向同性晶体
研制信息
起草单位:
西南技术物理研究所、中国科学院上海光学精密机械研究所
起草人:
马孜、姚德武、封巍、罗舒、郑环其、李斌成、易葵、张伟丽、赵元安