GB/T 3794-1983
废止
SJ/T 11451-2022
现行
行业标准-电子
SJ/T 11451-2022 扩散炉能源消耗规范
SJ/T 11451-2022 Diffusion furnace energy consumption specifications
基本信息
标准编号:
SJ/T 11451-2022
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
加工专用设备
国际标准分类名称:
能源和热传导工程综合
发布日期:
2022-10-20
实施日期:
2023-01-01
发布单位/组织:
工业和信息化部
归口单位:
中国电子技术标准化研究院
适用范围
适用于工作温度在400 ℃～1 350 ℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉
研制信息
起草单位:
北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、晶澳太阳能科技股份有限公司、株洲中车时代半导体有限公司、英利能源（中国）有限公司、北京赛西认证有限责任公司
起草人:
李补忠、吴秀祥、孙朋涛、张颖、郝晓明、赵永猛、刘月雷、张红妹、张生春、李琳