GB/T 4855-1984
废止
T/EDASQUARE 009-2024
现行
团体标准
T/EDASQUARE 009-2024 后OPC结果校验软件输出数据格式规范
T/EDASQUARE 009-2024 Software output data format specification for post-OPC result verification
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/EDASQUARE 009-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
2024-09-21
实施日期:
2024-12-22
归口单位:
上海电子设计自动化发展促进会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了OPC结果仿真验证软件建模的输出数据格式。本文件适用于晶圆制造领域，包括晶圆制造厂（涵盖存储和逻辑芯片制造）本身和对应的计算光刻软件支持单位。本标准应用于自0.18um技术节点开始，以及后续更先进工艺的所有节点中的相关工艺层次。随技术节点推进，标准需要涵盖更多技术要素
研制信息
起草单位:
中国科学院上海光学精密机械研究所、中国科学院微电子研究所、上海概伦电子股份有限公司、全芯智造技术有限公司、东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司、苏州培风图南半导体有限公司、墨研计算科学（南京）有限公司、深圳市海思半导体有限公司、北京华大九天科技股份有限公司、广东工业大学
起草人:
李思坤、钟政、孟晓东、施伟杰、陈钊、沈忱、周洁云、刘晓明、沈逸江、林薇、温松辑、王琦、陈岚、王亚丽