T/ICMTIA ESG0013-2022 现行团体标准

T/ICMTIA ESG0013-2022 集成电路用混合气体 3.5%氩/10ppm氙/氖

T/ICMTIA ESG0013-2022 The mixed gas used for integrated circuits consisting of 3.5% argon, 10 ppm xenon, and neon

发布日期: 2022-04-08 实施日期: 2022-05-01 中国正版标准查询、采购、翻译等其他相关服务，请联系我们

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标准编号: T/ICMTIA ESG0013-2022

标准类型: 团体标准

标准状态: 现行

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中国标准分类名称: 工业气体与化学气体

国际标准分类名称: 工业气体

发布日期: 2022-04-08

实施日期: 2022-05-01

发布单位/组织: 中关村集成电路材料产业技术创新联盟