GB/T 16786-1997
被代替
T/ICMTIA ESG0016-2022
现行
团体标准
T/ICMTIA ESG0016-2022 集成电路用气体 乙硅烷
T/ICMTIA ESG0016-2022 Gas used for integrated circuits: Ethylsilane
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/ICMTIA ESG0016-2022
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
术语学(原则和协调配合)
发布日期:
2022-05-10
实施日期:
2022-05-31
归口单位:
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了集成电路用乙硅烷的技术要求、检测方法、标志、包装与运储运安全的要求。本文件适用于用硅化镁法（小松法）制备的乙硅烷。主要用于半导体行业氧化硅膜、氮化硅膜、多晶硅膜等的气相沉积工艺中。其他工艺参照本文件执行
研制信息
起草单位:
安徽亚格盛电子新材料有限公司、全椒亚格泰电子新材料科技有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、上海正帆科技股份有限公司、广东华特气体股份有限公司
起草人:
徐昕、俞冬雷、魏入铎、孙雪峰、刘广登、李强强、王伟、郑秋艳、李东升、曾庆腾、陈艳珊