GB 4962-1985
被代替
GB/T 16945-2009
被代替
国家标准
GB/T 16945-2009 电子工业用气体 氩
GB/T 16945-2009 Gas for electronic industry—Argon
基本信息
标准编号:
GB/T 16945-2009
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2009-10-30
实施日期:
2010-05-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会
页数:
8 页
适用范围
本标准规定了氩的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。
氩用于系统的吹扫、保护和增压，它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。
分子式：Ar。
相对分子质量：39.948(按2005年国际相对原子质量)。
研制信息
起草单位:
北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院
起草人:
赵俊秀、周鹏云
替代以下标准
被以下标准替代
引用标准
GB/T 4842-2006 氩
GB/T 3723-1999 工业用化学产品采样安全通则
GB/T 5832.1-2003 气体湿度的测定 第1部分：电解法
GB/T 5832.1-2016 气体分析 微量水分的测定 第1部分：电解法
GB/T 8984-2008 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法
GB/T 8984.1-1997 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 第1部分：气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定 气相色谱法
GB/T 8984.2-1997 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 第2部分：气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物总含量的测定 气相色谱法
GB/T 8984.3-1997 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 第3部分：气体中总烃的测定 火焰离子化法
GB/T 8984-2025 气体分析 气体中微量一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物含量的测定 火焰离子化气相色谱法