GB/T 2413-1981
现行
GB/T 15870-1995
现行
国家标准
GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜
GB/T 15870-1995 Chrome thin films for hard surface photomasks
基本信息
标准编号:
GB/T 15870-1995
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
加工专用设备
国际标准分类名称:
电子技术专用材料
发布日期:
1995-12-22
实施日期:
1996-08-01
发布单位/组织:
国家技术监督局
归口单位:
电子工业部标准化研究所
页数:
12 页
研制信息
起草单位:
长沙韶光微电子总公司、电子工业部标准化研究所
起草人:
吴保华、王亦林、赵雨生、谈仁良
引用标准
GB 191-90
GB 2828-87
GB 2829-87
GB 7239-87
GB 7240-87
GB 7241-87
GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板
SJ/T 10584-94
采用标准
SEMI Semip2-86
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