DZ/T 0101.12-1994
现行
T/IAWBS 005-2024
现行
团体标准
T/IAWBS 005-2024 6~8英寸碳化硅单晶抛光片
T/IAWBS 005-2024 6~8-inch silicon carbide single crystal polished wafer
价格:
$ 43.00
基本信息
标准编号:
T/IAWBS 005-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
-
发布日期:
1970-01-01
实施日期:
1970-01-01
发布单位/组织:
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
适用范围
本文件规定了6~8英寸4H碳化硅单晶抛光片的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。 本文件适用于生产电力电子器件、射频微波器件的外延材料用碳化硅单晶抛光片。