DZ/T 0101.12-1994
现行
T/CI 610-2024
现行
团体标准
T/CI 610-2024 碳化硅单晶生长技术
T/CI 610-2024 Silicon carbide single crystal growth technology
价格:
$ 38.00
基本信息
标准编号:
T/CI 610-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
-
发布日期:
1970-01-01
实施日期:
1970-01-01
发布单位/组织:
中国国际科技促进会
适用范围
本文件规定了碳化硅单晶生长的生产设备要求、原材料要求、工艺参数、质量检测、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于采用物理气相传输法（PVT）进行碳化硅单晶生长的过程。