GB/T 15678-1995
被代替
YS/T 718-2009
现行
行业标准-有色金属
YS/T 718-2009 平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶
YS/T 718-2009 Flat magneting sputtering target—Niobium target for optical coating
基本信息
标准编号:
YS/T 718-2009
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
稀有高熔点金属及其合金
国际标准分类名称:
其他有色金属产品
发布日期:
2009-12-04
实施日期:
2010-06-01
发布单位/组织:
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会
页数:
5 页
适用范围
本标准规定了平面磁控溅射光学薄膜用铌靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及订货单（或合同）内容。本标准适用于平面磁控溅射光学薄膜用铌靶材。
研制信息
起草单位:
利达光电股份有限公司
起草人:
李智超、杨太礼、付勇、段玉玲、张向东、赵伦