GB 4962-1985
被代替
T/CIET 776-2024
现行
团体标准
T/CIET 776-2024 半导体用特种气体技术要求
T/CIET 776-2024 Technical requirements for specialty gases used in semiconductors
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CIET 776-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2024-11-13
实施日期:
2024-11-13
归口单位:
中国国际经济技术合作促进会
适用范围
范围:本文件规定了半导体用特种气体的术语和定义、分类、通用要求、技术要求及标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于半导体用特种气体; 主要技术内容:本文件规定了半导体用特种气体的术语和定义、分类、通用要求、技术要求及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体用特种气体
研制信息
起草单位:
通标中研标准化技术研究院（北京）有限公司、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、安徽亚格盛电子新材料股份有限公司、湖南凯美特气体股份有限公司、上海韩科科技有限公司、无锡恒大电子科技有限公司、浙江英德赛半导体材料股份有限公司、金宏气体股份有限公司、宁夏胜蓝化工环保科技有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司、正帆科技（湖州）有限公司、途邦认证有限公司
起草人:
吴永利、徐新华、李强强、周锋、朱万良、王敏、赵晓兰、王敏华、沈俊、马彬淇、杜洪龙、王云峰、王乐强、陈圆圆、彭昆鹏、尚修娟、赵燕、刘丹、陈昊、徐聪、刘岩、汪贤峰、许艳晶、徐敬铭、包瑾、刘璐