GB/T 14264-1993
被代替
JB/T 5630-1991
废止
行业标准-机械
JB/T 5630-1991 半导体器件扩散炉能耗分等
JB/T 5630-1991 The energy consumption of semiconductor device diffusion furnaces is classified into different levels
价格:
$ 30
基本信息
标准编号:
JB/T 5630-1991
标准类型:
行业标准
标准状态:
废止
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
技术管理
国际标准分类名称:
半导体器分立件综合
发布日期:
1991-09-13
实施日期:
1992-07-01
页数:
4 页
研制信息
起草单位:
国营七〇〇厂
起草人:
钱祖权、黄淑敏