GB/T 14283-1993
被代替
T/CIET 1581-2025
现行
团体标准
T/CIET 1581-2025 晶圆搬运机器人通用技术要求
T/CIET 1581-2025 Universal technical requirements for wafer handling robots
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CIET 1581-2025
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
工业机器人、机械手
发布日期:
2025-08-11
实施日期:
2025-08-11
归口单位:
中国国际经济技术合作促进会
适用范围
本文件规定了晶圆搬运机器人的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于大气和真空环境下的晶圆搬运机器人。 本文件规定了晶圆搬运机器人的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于大气和真空环境下的晶圆搬运机器人
研制信息
起草单位:
通标中研标准化技术研究院（北京）有限公司、天津龙创恒盛实业有限公司、荣耀半导体材料（嘉善）有限公司、途邦认证有限公司、京标领航标准化技术研究（北京）有限公司
起草人:
吴永利、王晓楠、耿红军、胡伟、刘岩、汪贤峰、张立龙、徐敬铭、包瑾、刘世纪