GB 4962-1985
被代替
T/CHBAS 54-2024
现行
团体标准
T/CHBAS 54-2024 电子工业用气体 三氟化氮混合气
T/CHBAS 54-2024 Nitrogen trifluoride mixed gas used in the electronics industry
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CHBAS 54-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2024-04-19
实施日期:
2024-04-19
归口单位:
河北省标准化协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体三氟化氮混合气（以下简称三氟化氮混合气） 的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、 储存和安全的要求。本文件适用于半导体电子工业领域。 本文件中的三氟化氮混合气的平衡气多为氦气、氩气、氮气，也可以是其他不与三氟化氮混合气发生化学反应，且不影响反应工艺的平衡气
研制信息
起草单位:
中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八 研究所、中船（邯郸）派瑞氢能科技有限公司
起草人:
殷越玲、崔雯、李旭、 王星帅、 柳彤、张净普、陈良、薛贺来