GB/T 3135-1982
abolished_transferred
T/ICMTIA 2-2019
现行
团体标准
T/ICMTIA 2-2019 集成电路用过氧化氢
T/ICMTIA 2-2019 Integrated circuits with hydrogen peroxide
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/ICMTIA 2-2019
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
化工
国际标准分类名称:
氧化物
发布日期:
2019-04-17
实施日期:
2019-10-10
归口单位:
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
范围:本标准规定了集成电路用过氧化氢的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存; 主要技术内容:本标准规定了集成电路用过氧化氢产品的性状要求、技术规格和指标；含量测定、色度测定、酸度测定、总有机碳测定、阴离子测定、金属离子测定、颗粒测定等测定方法；还规定了检验规则，及标志、包装、运输和储存要求等
研制信息
起草单位:
苏州晶瑞化学股份有限公司、同济大学、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司、中芯国际集成电路制造（北京）有限公司、黎明化工研究设计院有限责任公司
起草人:
刘兵、钱森林、王洪华、傅华、高小云、康劲、葛军、赵健、柴春玲、赵晓东、张惠平
相关标准
GB/T 3501-1983
废止
GB/T 3501-1983 超细水合二氧化钌粉技术条件
GB/T 3502-1983
废止
GB/T 3502-1983 超细氧化钯粉技术条件
GB/T 5236-1985
abolished_transferred
GB/T 5236-1985 三硫化二锑
GB/T 7315.1-1987
abolished_transferred
GB/T 7315.1-1987 五氧化二钒化学分析方法 高锰酸钾氧化-硫酸亚铁铵滴定法测定五氧化二钒量
GB/T 7315.2-1987
abolished_transferred