GB 4962-1985
被代替
T/DLSHXH 008-2022
现行
团体标准
T/DLSHXH 008-2022 电子特气 双（二乙基氨基）硅烷
T/DLSHXH 008-2022 Di(diethylamino)silane is an example of electronic gas
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/DLSHXH 008-2022
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2022-09-30
实施日期:
2022-10-20
归口单位:
大连市石油和化工行业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了双（二乙基氨基）硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、贮运和安全信息。本标准适用于以工业级双（二乙基氨基）硅烷为原料，经精馏、过滤提纯制得的电子级成品双（二乙基氨基）硅烷。该产品主要用于低温制备SiO2膜和硅基高介电薄膜的前驱体
研制信息
起草单位:
大连科利德光电子材料有限公司、大连市石油和化工行业协会
起草人:
施旖旎、焦中鹏、李晓婷、李文博、王明月、毕聪智