T/ICMTIA ESG0020-2022 现行

T/ICMTIA ESG0020-2022 集成电路用气体锗烷

T/ICMTIA ESG0020-2022 Gas used for integrated circuits: Germanium hydride

发布日期: 1970-01-01 实施日期: 1970-01-01 中国正版标准查询、采购、翻译等其他相关服务，请联系我们

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基本信息

标准编号: T/ICMTIA ESG0020-2022

标准类型:

标准状态: 现行

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中国标准分类名称: 工业气体与化学气体

国际标准分类名称: 工业气体

发布日期: 1970-01-01

实施日期: 1970-01-01

发布单位/组织: 中关村集成电路材料产业技术创新联盟

研制信息

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