GB/T 8567-1988
被代替
T/WHAS 062-2023
现行
团体标准
T/WHAS 062-2023 用于集成电路的光学临近效应校正软件设计导则
T/WHAS 062-2023 Guidelines for designing optical proximity correction software for integrated circuits
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/WHAS 062-2023
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
软件开发和系统文件
发布日期:
2023-12-26
实施日期:
2024-01-10
归口单位:
武汉标准化协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了用于集成电路的光学临近效应校正软件的设计原则、功能模块和设计要求。本文件适用于集成电路的光学临近效应校正软件的功能架构开发，采用干式及浸没式光刻技术的相关领域可参照使用
研制信息
起草单位:
武汉大学、武汉精测电子集团股份有限公司、武汉精一微仪器有限公司
起草人:
秦明、刘泽晟、宋毅、许益多、肖恩桥、彭飞、赵焱、熊逍、张国良、陈美通