DZ/T 0101.12-1994
现行
JB/T 4081-2011
现行
行业标准-机械
JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵
JB/T 4081-2011 Vacuum technology, sputter ion pump
价格:
$ 30
基本信息
标准编号:
JB/T 4081-2011
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
真空技术与设备
国际标准分类名称:
-
发布日期:
2011-12-20
实施日期:
2012-04-01
发布单位/组织:
工业和信息化部
归口单位:
全国真空技术标准化技术委员会
页数:
13 页
研制信息
起草单位:
北京中科科仪技术发展有限公司、沈阳真空技术研究所
起草人:
朱国精、邹蒙 等