GB 4962-1985
被代替
T/CASME 272-2022
现行
团体标准
T/CASME 272-2022 电子工业用高纯氯化氢气体
T/CASME 272-2022 Highly pure hydrogen chloride gas used in the electronics industry
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CASME 272-2022
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
化工
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2022-12-29
实施日期:
2022-12-31
归口单位:
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于以工业合成氯化氢或其他来源工业氯化氢为原料经纯化制得的气体，主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺，也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域; 主要技术内容:本文件规定了电子工业用高纯氯化氢气体的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和安全警示
研制信息
起草单位:
浙江瑞亨电子材料有限公司、上海亿钶气体有限公司、上海亿钶工程技术有限公司、美新半导体（绍兴）有限公司、江苏元佳新材料有限公司、中国中小商业企业协会
起草人:
李飞明、茅天峰、陈公哲、张丽丽、陶建春、邱俊