GB 4962-1985
被代替
T/CCGA 30003-2019
现行
团体标准
T/CCGA 30003-2019 超纯三氟化氮
T/CCGA 30003-2019
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CCGA 30003-2019
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
其他化工产品
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2019-10-29
实施日期:
2020-01-29
归口单位:
中国工业气体工业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了瓶装超纯三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。 本标准适用于电解合成粗品三氟化氮，通过精馏提纯生产的超纯三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺蚀刻剂和化学气相沉积的清洗剂
研制信息
起草单位:
中国船舶重工集团公司第七一八研究所、中国工业气体工业协会
起草人:
郑秋艳、李翔宇、洑春干、孟祥军、孙秋丽、袁瑞玲、胡帅、曹红梅、宋芳芳