GB/T 5295-1985
被代替
T/QGCML 4860-2025
现行
团体标准
T/QGCML 4860-2025 无掩模版紫外光刻机
T/QGCML 4860-2025 Maskless direct write lithography machine
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/QGCML 4860-2025
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
光电子学、激光设备
发布日期:
2025-05-22
实施日期:
2025-06-06
归口单位:
全国城市工业品贸易中心联合会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了无掩模版紫外光刻机的术语定义、产品分类与结构、工作环境、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于无掩模版紫外光刻机的设计、研发、生产和检验
研制信息
起草单位:
托托科技（苏州）有限公司、苏州亿拓光电科技有限公司、苏州齐光致远科技有限公司、伊诺菲（苏州）科技有限公司
起草人:
严振中、高尧、曹春霞、王寅涛、高真真、胡进、王生吉、王倩