GB/T 3656-1983
被代替
GB/T 37385-2019
现行
国家标准
GB/T 37385-2019 硅中氯离子含量的测定 离子色谱法
GB/T 37385-2019 Test method for chloride content of silicon—Ion chromatography method
基本信息
标准编号:
GB/T 37385-2019
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2019-03-25
实施日期:
2020-02-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
7 页
适用范围
本标准规定了硅中氯离子含量的离子色谱测定方法。
本标准适用于测定棒状、块状、颗粒状和片状硅中氯离子含量的测定。测定范围为1.0 μg/g至硅中氯离子的最大固溶度。
研制信息
起草单位:
江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司、苏州汉谱埃文材料科技有限公司、有色金属技术经济研究院
起草人:
王桃霞、刘逸枫、刘晓霞、刘源君、耿全荣、梁博松、鲁文锋、胡议允、贾芬、张佳伟、陈飞、刘国霞、邱艳梅、宗冰、李素青