GB/T 14264-1993
被代替
T/CIET 1151-2025
现行
团体标准
T/CIET 1151-2025 芯片制造用离子注入设备技术规范
T/CIET 1151-2025 Technical specification for ion implanter used in chip manufacturing
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CIET 1151-2025
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
半导体器分立件综合
发布日期:
2025-04-09
实施日期:
2025-04-09
归口单位:
中国国际经济技术合作促进会
适用范围
范围:本文件规定了芯片制造用离子注入设备的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于芯片制造用离子注入设备; 主要技术内容:本文件规定了芯片制造用离子注入设备的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于芯片制造用离子注入设备
研制信息
起草单位:
青岛思锐智能科技股份有限公司、艾恩（山东）半导体科技有限公司、浙江中科尚弘离子装备工程有限公司、通标中研标准化技术研究院（北京）有限公司、途邦认证有限公司
起草人:
聂翔、钟新华、刘仁杰、张丛、李更兰、彭强祥、田龙、谢均宇、陈祥龙、张蕊、姜维世、卓祖亮、刘岩、吴永利、汪贤峰、张仲琳、徐敬铭、包瑾、鲁家辉