GB/T 4855-1984
废止
T/ZGCIT 029-2025
现行
团体标准
T/ZGCIT 029-2025 工业MEMS测试平台建设规范
T/ZGCIT 029-2025 Industrial MEMS testing platform construction specification
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/ZGCIT 029-2025
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
2025-03-15
实施日期:
2025-03-20
归口单位:
中关村智能科技发展促进会
适用范围
范围:本文件规定了工业MEMS测试平台（以下简称平台）的建设要求、核心组成、测试要求等内容。 本文件适用于工业类MEMS器件的基础性测试、验收工作; 主要技术内容:本文件规定了工业MEMS测试平台（以下简称平台）的建设要求、核心组成、测试要求等内容
研制信息
起草单位:
西安交通大学、中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、南京高华科技股份有限公司、中国科学院地质与地球物理研究所、南通大学、广电计量检测集团股份有限公司、保定开拓精密仪器制造有限责任公司、中国计量大学、深圳市正宇兴电子有限公司、武汉大学、江苏联康信息股份有限公司、西北工业大学宁波研究院、余姚市永创电磁阀有限公司、上海科技大学
起草人:
方续东、李维、李维平、李宗伟、赵继聪、陈振、罗定稳、吴岱璇、张仲恺、兰之康、熊兴崟、孙海燕、王河清、陈天平、李方浩、任雪雯、姜一平、邓杨、张诚、陈志文、舒朝玺、唐朝阳、李俊、常洪龙、严宇超、余建宏、吴涛、崔艳