GB/T 16786-1997
被代替
T/ICMTIA ESG0019-2022
现行
团体标准
T/ICMTIA ESG0019-2022 集成电路用气体 二氟甲烷
T/ICMTIA ESG0019-2022 The gas used in integrated circuits is dichloromethane
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/ICMTIA ESG0019-2022
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
术语学(原则和协调配合)
发布日期:
2022-05-10
实施日期:
2022-05-31
归口单位:
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了电气特气二氟甲烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。本文件适用于由工业用二氟甲烷提纯得到的电子特气二氟甲烷
研制信息
起草单位:
广东华特气体股份有限公司、福建德尔科技股份有限公司、福建博纯材料有限公司、江西华特电子化学品有限公司
起草人:
傅铸红、陈艳珊、叶相平、林百志、张奎、龚施健、赖金香、于胜、陈金彬