GB 4962-1985
被代替
T/DLSHXH 007-2022
现行
团体标准
T/DLSHXH 007-2022 电子特气 三氟碘甲烷
T/DLSHXH 007-2022 Electronic specialty gas trifluoromethane iodine
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/DLSHXH 007-2022
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2022-09-30
实施日期:
2022-10-20
归口单位:
大连市石油和化工行业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了三氟碘甲烷的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、贮运及安全信息的要求。本标准适用于以工业级三氟碘甲烷为原料，经精馏提纯制得的三氟碘甲烷产品。该产品主要用于半导体气相沉积加工腔室的清洗或等离子体的刻蚀
研制信息
起草单位:
大连科利德光电子材料有限公司、大连市石油和化工行业协会
起草人:
施旖旎、赵银凤、李庆东、张蓉、李文博、王明月、姜涛