DZ/T 0101.12-1994
现行
T/CEMIA 041-2024
现行
团体标准
T/CEMIA 041-2024 集成电路刻蚀设备用石英环
T/CEMIA 041-2024 Silicon carbide ring for integrated circuit etching equipment
价格:
$ 38.00
基本信息
标准编号:
T/CEMIA 041-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
-
发布日期:
1970-01-01
实施日期:
1970-01-01
发布单位/组织:
中国电子材料行业协会
适用范围
本文件规定了集成电路刻蚀设备用石英环的术语和定义、产品分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存等内容。 本文件适用于集成电路刻蚀设备用石英环。