GB/T 4771-1984
被代替
T/CEMIA 043-2024
现行
团体标准
T/CEMIA 043-2024 集成电路扩散设备用石英外管
T/CEMIA 043-2024 Quartz outer tubes for integrated circuit diffusion equipment
价格:
$ 38.00
基本信息
标准编号:
T/CEMIA 043-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
石英玻璃
国际标准分类名称:
玻璃产品
发布日期:
2024-11-05
实施日期:
2025-01-05
发布单位/组织:
中国电子材料行业协会
归口单位:
中国电子材料行业协会
页数:
20 页
适用范围
本文件规定了集成电路扩散设备用石英外管的术语和定义、分类和标记、材料、技术要求、试验方法、检验规则以及产品标识、包装、运输和贮存。
本文件适用于集成电路制造工艺用12 in及以下的集成电路扩散设备用石英外管产品。
注：1 in=25.4 mm。
研制信息
起草单位:
浙江富乐德石英科技有限公司、中国建筑材料科学研究总院有限公司、中国国检测试控股集团股份有限公司、江苏太平洋石英股份有限公司、久智光电子材料科技有限公司、浙江富同石英新材料有限公司、上海强华实业股份有限公司、辽宁汉京半导体材料有限公司、北京凯德石英股份有限公司、浙江奥博石英科技股份有限公司、东海县奥博石英制品有限公司、浙江浩锐石英科技有限公司、湖州东科电子石英股份有限公司
起草人:
杨军、汪俊、张甲宏、郑明山、黄书君、王慧、钱卫刚、秦卫光、叶国闽、宋贤、高君、李来斌、周文华、蓝呈、张娟、张忠恕、盛文彬、沈根法、孔凡昌、汤芳、卫令中