GB 12607-1990
被代替
T/QGCML 4791-2024
现行
团体标准
T/QGCML 4791-2024 半导体薄膜沉积 技术要求
T/QGCML 4791-2024
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/QGCML 4791-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
表面处理
发布日期:
2024-10-17
实施日期:
2024-11-01
归口单位:
全国城市工业品贸易中心联合会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了半导体薄膜沉积 技术要求的术语和定义、基本要求、在线监测、质量控制、检验方法。本文件适用于半导体薄膜沉积 技术要求的设计和检验
研制信息
起草单位:
江苏中芯沃达半导体科技有限公司、深圳市兆兴博拓科技股份有限公司、深圳市富尧科技有限公司、珠海市奔荣电子电路有限公司
起草人:
申学礼、靳振岗、张彩琴、姜锐、吕义山