GB/T 4920-1985
现行
DB13/T 6236-2025
现行
河北省地方标准
DB13/T 6236-2025 PAS系列投影光刻机同轴对准系统激光器更换及光路调整一般要求
DB13/T 6236-2025 Laser replacement and optical path adjustment for the coaxial alignment system of the PAS series projection lithography machine general requirements
基本信息
标准编号:
DB13/T 6236-2025
标准类型:
地方标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
投影器、幻灯机
国际标准分类名称:
移动源排放限值
发布日期:
2025-12-16
实施日期:
2026-01-16
发布单位/组织:
河北省市场监督管理局