GB 12607-1990
被代替
T/CASME 1520-2024
现行
团体标准
T/CASME 1520-2024 半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层
T/CASME 1520-2024 Semiconductor manufacturing vacuum chamber component surface protective coating
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CASME 1520-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
综合
国际标准分类名称:
表面处理
发布日期:
2024-06-04
实施日期:
2024-06-20
归口单位:
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层; 主要技术内容:本文件规定了半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层的缩略语、材料、喷涂工艺、技术要求、试验方法、涂层检验和喷涂记录
研制信息
起草单位:
安徽高芯众科半导体有限公司、苏州高芯众科半导体有限公司、合肥高芯众科材料科技有限公司
起草人:
辛长林、金巨万、阚云峰、李敏成、杨斌、郝俊、杜彪、黄启军、朱应高、韦孟德、汪文学、张峰