GB/T 3215-1982
被代替
T/QGCML 3233-2024
现行
团体标准
T/QGCML 3233-2024 泛半导体行业真空泵 技术要求
T/QGCML 3233-2024
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/QGCML 3233-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
泵
发布日期:
2024-03-05
实施日期:
2024-03-20
归口单位:
全国城市工业品贸易中心联合会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了泛半导体行业真空泵的术语和定义、主要参数、一般要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。本文件适用于泛半导体行业真空泵的生产和检验
研制信息
起草单位:
北京通嘉宏瑞科技有限公司、陕西通嘉宏盛科技有限公司、上海通嘉宏盛半导体设备有限公司
起草人:
雷晓宏、王普学、魏民、雷晓波、汪鹏、王进福、陈雷、丁印明、姜斌、刘朋飞、孟永见、王洪帅、王鑫、张建平、张兰涛、张新房、郑华、陈丰、冯伟、彭冲、苏海军、由凯生