T/AHEMA 23-2022 MEMS VOC 气体传感器技术要求

适用范围

范围:本文件规定了MEMS VOC 气体传感器的产品分类、技术要求、试验方法、运输及贮存。 本文件适用于监测VOC气体的MEMS传感器芯片本体及封装完毕的传感器器件; 主要技术内容:4 技术要求环境要求4.1.1 湿度要求对试验样品进行湿度试验，试验过程中，试样能正常工作，且满足4.2之要求。4.1.2 温度要求对试验样品进行低温、常温、高温试验，试验过程中，试样能正常工作，且满足4.2之要求。4.1.3 大气压要求对试验样品进行不同大气压下试验，试验过程中，试样能正常工作，且满足4.2之要求。外观要求a) 传感器芯片外形、各部分尺寸及加工质量符合图样规定。b) 封装器件符合图样规定，安装牢固。c) 封装器件不得有龟裂、损伤、断裂等现象。d) 传感器通电检查时，显示电压和电流示数应维持恒定范围内数值。性能要求4.3.1 稳定性对MEMS VOC 气体传感器进行多次测量，并与标准值进行比较，同个传感器的相对标准偏差应不大于±5%，同批不同传感器的相对标准偏差应不大于±10%。4.3.2 响应时间（T90）MEMS VOC气体传感器的响应时间不大于30s。4.3.3 恢复时间（T10）MEMS VOC气体传感器的恢复时间不大于60s。4.3.4 响应误差对于VOC气体传感器芯片，传感器的响应误差不大于浓度标准点的±10%。4.3.5 灵敏度要求MEMS VOC传感器在乙醇气体中的敏感体电阻与在洁净空气中电阻的比值≥10。4.3.6 抗干扰性对试验样品进行干扰气体试验，试验过程中，试样不受干扰气体的影响，正常工作，且满足4.2之要求。4.3.7 抗跌落性能将处于包装状态下的气体传感器芯片做跌落试验，试验后，产品完好，且满足4.2之要求。敏感体电阻利用公式换算得出敏感体电阻值，其值在[50KΩ～300KΩ]的范围，公式见5.4

研制信息

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