MT/T 744-1997
现行
T/SICA 001-2020
现行
团体标准
T/SICA 001-2020 钛白粉用集成电路制造行业废硫酸
T/SICA 001-2020 Titanium dioxide production waste sulfuric acid used in integrated circuit manufacturing industry
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/SICA 001-2020
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
环境保护综合
国际标准分类名称:
有关废物的其他标准
发布日期:
2020-04-29
实施日期:
2020-06-01
归口单位:
上海市集成电路行业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了在用硫酸法工艺生产钛白粉时，采用集成电路制造行业废硫酸的要求，主要技术指标为 ，硫酸（H2SO4）≥60W/ %；过氧化氢（H2O2）≤0.5W/ %；铁（Fe）≤0.002W/ %；透明度≥100/mm；色度，深于标准色度；灰分≤0.01 W/ %；砷（As）≤0.001W/ %；铅（Pb）≤0.02 W/ %
研制信息
起草单位:
上海市集成电路行业协会、上海华虹宏力半导体制造有限公司、中芯国际集成电路制造（上海）有限公司、上海华力集成电路制造有限公司、台积电（中国）有限公司、上海积塔半导体制造有限公司、上海澎博钛白粉有限公司
起草人:
徐伟、陶金龙、石建宾、何姚军、张大炜、付笃、姚弘珏、孙茜、蔡静莉、孟现隆