GB/T 4855-1984
废止
GB/T 17864-1999
现行
国家标准
GB/T 17864-1999 关键尺寸(CD)计量方法
GB/T 17864-1999 CD Metrology procedures
基本信息
标准编号:
GB/T 17864-1999
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半导体集成电路
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
1999-09-13
实施日期:
2000-06-01
发布单位/组织:
国家质量技术监督局
归口单位:
SEMI中国标准化技术委员会
页数:
12 页
研制信息
起草单位:
中国科学院微电子中心
起草人:
陈宝钦、陈森锦、廖温初、刘明
引用标准
GB/T 16878-1987
GB/T 16879-1997 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
采用标准
SEMI P24:1994