GB/T 14264-1993
被代替
T/DGECA 045-2026
废止
团体标准
T/DGECA 045-2026 高精度晶圆加工工艺标准及验收规范
T/DGECA 045-2026 Precision Wafer Processing Standard and Acceptance Specification
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/DGECA 045-2026
标准类型:
团体标准
标准状态:
废止
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
医用电子仪器设备
国际标准分类名称:
半导体器分立件综合
发布日期:
2026-02-25
实施日期:
2026-02-28
归口单位:
东莞市电子商务协会
适用范围
本文件规定了高精度集成电路晶圆加工的加工前准备、加工工艺、质量检测、成品验收以及包装、运输与存储等内容。 本文件适用于晶圆加工车间的生产作业、质量检验部门的检测验收工作，同时作为公司向上下游合作方提供晶圆产品技术对接、质量确认的依据
研制信息
起草单位:
上海铂肯材料技术有限公司、上海央达商务咨询中心（有限合伙）、上海苗疆商务咨询中心（有限合伙）
起草人:
黄水平、余夏冰、余美英