GB/T 2681-1981
废止
GB/T 5226.33-2017
现行
国家标准
GB/T 5226.33-2017 机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
GB/T 5226.33-2017 Electrical safety of machinery—Electrical equipment of machines—Part 33:Requirements for semiconductor fabrication equipment
基本信息
标准编号:
GB/T 5226.33-2017
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
卫生、安全、劳动保护
国际标准分类名称:
电气工程综合
发布日期:
2017-10-14
实施日期:
2018-05-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国工业机械电气系统标准化技术委员会(SAC/TC 231)
页数:
96 页
研制信息
起草单位:
中微半导体设备(上海)有限公司
起草人:
李天笑、黄祖广、王海涛、田保峡、郭和平、沈红、孙东曦、潘菊凤、孙岩、刘忠武、张志强、李补忠、薛瑞娟
同系列标准
采用标准
IEC 60204-33:2009