DZ/T 0101.12-1994
现行
T/ZSA 38-2020
现行
团体标准
T/ZSA 38-2020 SiC晶片的残余应力检测方法
T/ZSA 38-2020 The method for detecting residual stress of SiC crystal wafers
价格:
$ 31.00
基本信息
标准编号:
T/ZSA 38-2020
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
-
发布日期:
1970-01-01
实施日期:
1970-01-01
发布单位/组织:
中关村标准化协会
适用范围
本文件规定了SiC晶片内部残余应力的光学无损检测方法。 本文件适用于晶片厚度适当，对波长400 nm～700 nm的可见光范围内测试光的透过率在30%以上的SiC晶片。