GB/T 14390-2008
现行
T/SDTC 010-2025
现行
团体标准
T/SDTC 010-2025 光刻机用氧化铝陶瓷导轨
T/SDTC 010-2025 Optical lithography machine with aluminum oxide ceramic guide rail
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/SDTC 010-2025
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
医疗器械
国际标准分类名称:
高级陶瓷
发布日期:
2025-07-14
实施日期:
2025-09-01
归口单位:
山东省陶瓷协会
适用范围
外观质量，尺寸及形位公差，表面粗糙度，氧化铝含量， 体积密度，维氏硬度， 常温弯曲强度，弹性模量，平均线热膨胀系数等
研制信息
起草单位:
山东硅元新型材料股份有限公司、中国科学院上海硅酸盐研究所、上海微电子装备（集团）股份有限公司、淄博市传统产业发展中心、淄博市检验检测计量研究总院、淄博华创精细陶瓷有限公司、山东省硅酸盐研究设计院有限公司
起草人:
杨东亮、周国红、罗维志、朱岳彬、张健、王立波、苏明磊、王正娟、李新振、李伦、张超、古娜、徐海森、尹航、于松彬、王亮